职位描述
1. 岗位职责
负责Local Scrubber设备废气处理工艺的开发与优化,包括燃烧式(Burn-type)、水洗式(Wet-type)、等离子式(Plasma-type)、干式吸附式(Dry Adsorption)等不同技术路线;
设计工艺实验方案,搭建测试平台,开展废气处理效率、能耗、副产物等关键指标测试;
分析半导体制造工艺(刻蚀、薄膜沉积等)排放废气的成分及特性,优化废气处理工艺参数;
协助机械、电气团队完成设备性能优化和可靠性提升;
编制工艺技术规范、测试报告及客户应用指南;
参与产品认证及行业标准制定相关工作;
跟踪国内外废气处理前沿技术,提出技术创新方向建议。
2. 任职资格
化学工程、环境工程、材料科学与工程等相关专业,本科及以上学历;
3年以上半导体废气处理设备工艺研发经验,熟悉燃烧式、等离子式、干式吸附式等技术中的至少两种;
熟悉半导体制造工艺(刻蚀、CVD等)产生的废气成分(PFCs、VOCs、酸性气体等)及其特性;
具备实验设计(DOE)能力和数据分析能力;
了解FTIR、GC-MS等气体分析仪器原理及应用;
了解SEMI标准及相关环保法规;
公司福利:
1、